跨接器触发板 330730-040-01-00

跨接器触发板  330730-040-01-00

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5982 APPLIED MATERIALS WATERLIFT CERAMIC HOOP P5000 W/O 0100-09086 0010-10033

AMAT Applied Materials 0041-24878 

AMAT APPLIED MATERIALS 0100-09285

AMAT Applied Materials 0040-35875 Gas Box Universal Lid 12939900-282 

Applied Materials (AMAT) 1310046 B800287-G 

Applied Materials (AMAT) 0090-00461 

AMAT Applied Materials 9090-00491

AMAT Applied Materials ADS-432-303

Applied Materials (AMAT) 0670-01006 

AMAT Applied Materials 0200-04084

控制系统采用三套交流伺服系统和一套气缸设备，实现机器人的四个自由度，由GALIL DMC-1842运动控制卡和工业PC驱动机器人系统。X和Y方向通过传动装置将旋转运动转换为直线运动，实现在笛卡儿坐标系下的定位和轨迹插补;切割头有两个自由度，一个是Z方向的刀头旋转运动（如图1所示），切割时刀头方向始终和XY平面的轨迹保持正切，另一个自由度是刀头上的气缸连杆设备控制着抬刀和下刀。另外，采用一块ISA总线的IPC 5372-2 数字量输入卡检测机器人伺服报警状态，提高机器人的自诊断性。 　　2.1运动控制系统及结构框图： 　　机器人运动控制采用美国GALIL公司的PCI总线的DMC-1842运动控制卡[1]，该控制卡采用32位微处理器，可控制4轴，具有多轴直线插补、圆弧插补等功能，为了得到最佳控制效果，GALIL控制卡提供了含有速度、加速度前馈，Notch及低通滤波的PID滤波器补偿功能，所有滤波器参数均可调整，以求伺服系统获得最佳性能。机器人交流伺服驱动系统的工作模式设定为速度模式，以获得最佳的速度响应性能，在所有伺服参数中，速度指令电压幅值VCMS和速度环比例增益Kvp会串联到系统主回路中，对系统性能的影响最大，需要和控制卡的参数联合整定。机器人运动控制系统结构框图如图2所示。